محصولات
دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک
دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک انجام می دهد -} chealing مکانیکی شیمیایی یک طرفه (CMP) بر روی مواد شکننده سخت از جمله زیر 8 اینچ Si CMP ، اکسید CMP (BPSG ، TEOS ، THOX) ، CMP فلزی (W ، مس) ، فیلم های دی الکتریک و کاربردهای STI (شیب شیب دار).
تابع
کاربرد
دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک انجام می دهد - polishing مکانیکی شیمیایی یک طرفه (CMP) بر روی مواد شکننده سخت از جمله برنامه های زیر {3} 8 {{4} int int Is Is Is Is Is Is CMP (Bpsg ، Teos ، Thox) ، all Cmp (W ، Dielectric) ، Dielectric. این سیستم CMP کاملاً اتوماتیک همچنین صیقلی یک طرفه با راندمان بالا و با راندمان بالا را برای سطوح مسطح موازی ویفرهای یاقوت کبود ، ویفرهای ژرمانیوم ، لیتیوم نیوبات و بسترهای شیشه ای ارائه می دهد.
دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک
|
شماره مدل |
SAP200 - 4H2P-FA |
|
|
دیسک صیقلی |
قطر |
φ510mm (20 '') |
|
شماره |
2 |
|
|
سرعت دیسک پایین |
0-200 دور در دقیقه |
|
|
سر صیقلی |
پردازش کارگروه |
6''/8'' |
|
روش فشار |
کیسه هوا عملکرد فشار برگشت فشار انعطاف پذیر (فشار 3 منطقه ای) |
|
|
سرعت |
0-200 دور در دقیقه |
|
|
شماره |
4 |
|
|
شاخص دقیق |
انتهای پایین پرش می کند |
کمتر از یا برابر با 0.01 میلی متر |
|
صافی صفحه پایین |
کمتر از یا برابر با 0.008 میلی متر |
|
|
اندازه تجهیزات (L * W * H) |
3640 mm 2400 میلی متر × 2600 میلی متر |
|
|
وزن دستگاه |
10000 کیلوگرم |
|
تگ های محبوب: دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک ، تولید کنندگان دستگاه پولیش شیمیایی مکانیکی اتوماتیک ، تهیه کنندگان ، کارخانه
شما نیز ممکن است دوست داشته باشید
ارسال درخواست
